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陶瓷真空吸盤
陶瓷真空吸盤
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劃片吸盤
主要特點

陶瓷真空吸盤主要由微孔陶瓷和框架組成,也可以稱為多孔陶瓷卡盤。

四大優(yōu)勢:

  • 平面度、平行度高
  •  組織致密均勻、強度高
  • 透氣性強:微孔尺寸:5-200μm,氣孔率:30%-50%
  • 吸附力均勻:10*10mm區(qū)域內(nèi)壓差±3Kpa (可調(diào)配)

資料手冊下載

Product Introduction

產(chǎn)品介紹

Main Appliction

應(yīng)用場景

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  • 劃片機、減薄機

  • 激光打孔、精密印刷

  • 氣浮平臺、晶圓檢測

Structure

結(jié)構(gòu)

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Performance Parameters

性能參數(shù)

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項目ltem  

尺寸 Size

4 inches

6 inches

8 inches

12 inches

平整度 Flatness

3 μm

3 μm

5 μm

5 μm or 10 μm

多孔陶瓷顏色 Color of Porous Ceramics

White, black, brown白、黑、棕

多孔陶瓷材料 Material of Porous Ceramics

Aluminum oxide and silicon carbide氧化鋁、碳化硅

多孔陶瓷孔徑 Pore Size of Porous Ceramics

5-200 μm

孔隙率 Porosity of Porous Ceramics

30%-50%

底座材料 Base Material

Stainless steel, aluminum alloy, ceramic不銹鋼、鋁合金、陶瓷

防靜電功能 Antistatic Function

Optional 可選

抗折強度 Flexural Strength

55-70 MPa

體積電阻率 Volume Resistivity

4.5*107-9 Ω.cm

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