氮化鋁是一種多功能材料,最常用于需要高導(dǎo)熱性和電絕緣性的場(chǎng)景。這種獨(dú)特的能力,使AIN成為快速加熱、散熱的理想選擇。如氮化鋁陶瓷發(fā)熱體(heater)、氮化鋁陶瓷晶圓托盤/吸盤等。