半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)（CSEAC）是我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)注“設(shè)備與核心部件”領(lǐng)域的展示會(huì)，集企業(yè)展示、權(quán)威發(fā)布、論壇交流于一體，秉承“高水平、專(zhuān)業(yè)化、產(chǎn)業(yè)化” 的宗旨。CSEA2023在無(wú)錫成功舉辦，吸引了 6.3 萬(wàn)人次觀眾進(jìn)場(chǎng)。CSEA為半導(dǎo)體設(shè)備/部件企業(yè)展示新產(chǎn)品、新成果、新發(fā)展景象提供平臺(tái)， 幫助企業(yè)更有效地獲取行業(yè)信息、交流市場(chǎng)機(jī)遇、謀求合作與發(fā)展。
第 12 屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)（以下簡(jiǎn)稱“CSEAC 2024”）將在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽會(huì)于2024年9月25日-27日舉行，屆時(shí)廣東精瓷新材材料有限公司也將前往參展，其展位號(hào)為9平標(biāo)攤C1-121，誠(chéng)摯邀請(qǐng)閣下光臨我司展臺(tái)，一起交流探討，合作共贏！
廣東精瓷有限公司脫胎于東莞國(guó)研精密半導(dǎo)體事業(yè)部，具有多年的HTCC研發(fā)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，專(zhuān)注于半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤(pán)ESC、陶瓷真空吸盤(pán)以及氮化鋁發(fā)熱體。
靜電卡盤(pán)是一種利用靜電吸附替代傳統(tǒng)機(jī)械夾持、真空吸附的優(yōu)勢(shì)技術(shù)，一般由陶瓷層、吸附電極、加熱器、粘結(jié)層和金屬基座組成，具有加工一致性高、機(jī)械強(qiáng)度高、抗等離子侵蝕性強(qiáng)、可定制化的特點(diǎn)。根據(jù)材料的不同，其可分為庫(kù)侖型和J-R型兩種。
陶瓷真空吸盤(pán)是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺(tái)，其結(jié)構(gòu)一般為多孔陶瓷加底座，具有平面度平行度高、組織致密均勻、強(qiáng)度高、透氣性強(qiáng)、吸附力均勻等特點(diǎn)。根據(jù)不同用途，可分為減薄吸盤(pán)、清洗吸盤(pán)、切割吸盤(pán)、劃片吸盤(pán)等。
氮化鋁陶瓷發(fā)熱體由于其材料氮化鋁是一種多功能材料，具有高熱導(dǎo)性、電絕緣性的獨(dú)特能力，使得由其作為材料做成的發(fā)熱體熱導(dǎo)率接近金屬鋁，并且具有升溫速度快、溫度均一性好、穩(wěn)定性佳、介電常數(shù)和介質(zhì)損耗優(yōu)良等特點(diǎn)。
